クリーンテクノロジーの最高峰。

TAS300は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP（Front Opening Unified Pod）を自動的に開閉するための標準ロードポートです。
半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び繰り返し動作の耐久性について、最高性能を有しています。