露光用光源
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（株）ワイ・イー・ブイ
LED照射ユニット（投影検査）
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UV-LEDスポット光源 LC-L1V3
浜松ホトニクス（株）
余分なスペースを最小限に抑制したことにより、4ヘッド駆動でありながら手のひらに乗るほどの小型軽量を実現しました
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