超精密テーブル  「X軸 AX250」「XY軸 AX350」

 

コアーテック(株) (旧社名:エルゴナテック(株))

  神奈川県横浜市青葉区つつじが丘23-7-504  TEL 045-532-9822 FAX 045-989-0889


超精密テーブル 「X軸 AX250」「XY軸 AX350」
  超精密の高精度テーブル

他では製作困難な高精度精密テーブルを設計製作できます
貴社の要求仕様をお知らせください。
専用テーブル/アクチュエータを製作いたします。
X軸、XY軸、門型XYZ軸等の専用設計

エアースライダー+リニアモータ - 先端技術でニーズにお応えします


ID A032-14
製品名 超精密テーブル  「X軸 AX250」「XY軸 AX350」
メーカー コアーテック(株) (旧社名:エルゴナテック(株))
概要 AX250/350は、主要部材にグラナイト(斑れい岩)を使用した高精度でコストパフォーマンスに優れたエアースライダーです。また、スライダーの性能を最大限に引き出すためアクチュエーターにはリニアモータを採用。低速から高速までなめらかな動作を実現しました。
半導体やディスクの検査装置、微細加工の求められる短波長レーザ加工機など先端技術分野に最適です。
 
特長

主要部材にグラナイト(斑れい岩)を使用。
環境に左右されにくく、高精度を維持します。

   
スライダー、駆動部ともに完全非接触(潤滑剤不要)のため、クリーンでメンテナンスフリー。
   
リニアモータは高推力のコイル可動タイプを採用。小型軽量で高加速度、高応答性が実現できます。
   
レーザ測長器をはじめとする高精度測定器により、テーブルの性能を総合的に評価いたします。
   
 

仕様(X軸(1軸)テーブル AX250)

ストローク 250mm
最高速度 250mm/sec
速度変動率 ±1%
分解能 0.1μm ※1
絶対位置決め精度 5μm ※1,2
真直度 2μm ※2
ヨーイング 2秒 ※2
ピッチング 2秒 ※2
テーブル全高 121mm
上面テーブル寸法 280×200mm
※1 リニアスケール(テープタイプ)によるクローズドループ制御での値です。
リニアスケールの選定により分解能0.001μm以下の制御も可能です。
※2 精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。
また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。


外観図(AX250)

超精密テーブル 「AX250G」 外観図



仕様(XY(2軸)テーブル AX350)
ストローク 350×350mm
最高速度 100mm/sec ※1
速度変動率 ±1%(6mm/sec〜100mm/sec)
分解能 0.01μm ※1,2
絶対位置決め精度 2μm ※2,3
真直度 0.5μm ※3
ヨーイング 0.5秒 ※3
ピッチング 0.5秒 ※3
石定盤外形寸法 1,000×1,000×200mm
テーブル全高 215mm(定盤上面より)
上面テーブル寸法 350×350mm
※1 最高速度は分解能やリニアスケールの応答速度、使用するコントローラの性能などによって決まります。
※2 高分解能リニアスケール(ハイデンハイン LIP401R、ソニー BS77等)によるクローズドループ制御での値です。
※3 精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。


外観図(AX350)

外観図(AX350)


 

      お問合せ・資料請求