超精密テーブル　「X軸 AX250」「XY軸 AX350」
 

コアーテック（株）
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超精密テーブル　「X軸 AX250」「XY軸 AX350」
 　 超精密の高精度テーブル

■ 他では製作困難な高精度精密テーブルを設計製作できます
■ 貴社の要求仕様をお知らせください。
専用テーブル／アクチュエータを製作いたします。
■ X軸、XY軸、門型XYZ軸等の専用設計

エアースライダー＋リニアモータ - 先端技術でニーズにお応えします


ID A032-14
製品名 超精密テーブル　「X軸 AX250」「XY軸 AX350」
メーカー コアーテック（株）
概要 AX250／350は、主要部材にグラナイト（斑れい岩）を使用した高精度でコストパフォーマンスに優れたエアースライダーです。また、スライダーの性能を最大限に引き出すためアクチュエーターにはリニアモータを採用。低速から高速までなめらかな動作を実現しました。
半導体やディスクの検査装置、微細加工の求められる短波長レーザ加工機など先端技術分野に最適です。
　
特長
● 主要部材にグラナイト(斑れい岩)を使用。
環境に左右されにくく、高精度を維持します。
　  
● スライダー、駆動部ともに完全非接触（潤滑剤不要）のため、クリーンでメンテナンスフリー。
　  
● リニアモータは高推力のコイル可動タイプを採用。小型軽量で高加速度、高応答性が実現できます。
　  
● レーザ測長器をはじめとする高精度測定器により、テーブルの性能を総合的に評価いたします。
　 　
 

■ 仕様（X軸（1軸）テーブル AX250）
ストローク 250mm
最高速度 250mm/sec
速度変動率 ±1％
分解能 0.1μm ※1
絶対位置決め精度 5μm ※1,2
真直度 2μm ※2
ヨーイング 2秒 ※2
ピッチング 2秒 ※2
テーブル全高 121mm
上面テーブル寸法 280×200mm
※1 リニアスケール（テープタイプ）によるクローズドループ制御での値です。
リニアスケールの選定により分解能0.001μm以下の制御も可能です。
※2 精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。
また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。


■ 外観図（AX250）

超精密テーブル　「AX250G」　外観図


■ 仕様（XY（2軸）テーブル AX350）
ストローク 350×350mm
最高速度 100mm/sec ※1
速度変動率 ±1％（6mm/sec〜100mm/sec）
分解能 0.01μm ※1,2
絶対位置決め精度 2μm ※2,3
真直度 0.5μm ※3
ヨーイング 0.5秒 ※3
ピッチング 0.5秒 ※3
石定盤外形寸法 1,000×1,000×200mm
テーブル全高 215mm（定盤上面より）
上面テーブル寸法 350×350mm
※1 最高速度は分解能やリニアスケールの応答速度、使用するコントローラの性能などによって決まります。
※2 高分解能リニアスケール（ハイデンハイン LIP401R、ソニー BS77等）によるクローズドループ制御での値です。
※3 精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。


■ 外観図（AX350）

外観図（AX350）

　

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