超精密テーブル 「X軸 AX250」「XY軸 AX350」 エルゴジャパン（株）
超精密テーブル 「X軸 AX250」「XY軸 AX350」
エルゴジャパン（株）
神奈川県横浜市青葉区つつじが丘23-7-504 TEL 045-989-0885 FAX 045-989-0889
超精密の高精度テーブル
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他では製作困難な高精度精密テーブルを設計製作できます
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貴社の要求仕様をお知らせください。
専用テーブル／アクチュエータを製作いたします。
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X軸、XY軸、門型XYZ軸等の専用設計
エアースライダー＋リニアモータ - 先端技術でニーズにお応えします
ID
A032-14
製品名
超精密テーブル 「X軸 AX250」「XY軸 AX350」
メーカー
エルゴジャパン（株）
概要
AX250／350は、主要部材にグラナイト（斑れい岩）を使用した高精度でコストパフォーマンスに優れたエアースライダーです。また、スライダーの性能を最大限に引き出すためアクチュエーターにはリニアモータを採用。低速から高速までなめらかな動作を実現しました。
半導体やディスクの検査装置、微細加工の求められる短波長レーザ加工機など先端技術分野に最適です。
特長
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主要部材にグラナイト(斑れい岩)を使用。
環境に左右されにくく、高精度を維持します。
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スライダー、駆動部ともに完全非接触（潤滑剤不要）のため、クリーンでメンテナンスフリー。
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リニアモータは高推力のコイル可動タイプを採用。小型軽量で高加速度、高応答性が実現できます。
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レーザ測長器をはじめとする高精度測定器により、テーブルの性能を総合的に評価いたします。
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仕様（X軸（1軸）テーブル AX250）
ストローク
250mm
最高速度
250mm/sec
速度変動率
±1％
分解能
0.1μm
※1
絶対位置決め精度
5μm
※1,2
真直度
2μm
※2
ヨーイング
2秒
※2
ピッチング
2秒
※2
テーブル全高
121mm
上面テーブル寸法
280×200mm
※1
リニアスケール（テープタイプ）によるクローズドループ制御での値です。
リニアスケールの選定により分解能0.001μm以下の制御も可能です。
※2
精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。
また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。
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外観図（AX250）
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仕様（XY（2軸）テーブル AX350）
ストローク
350×350mm
最高速度
100mm/sec
※1
速度変動率
±1％（6mm/sec〜100mm/sec）
分解能
0.01μm
※1,2
絶対位置決め精度
2μm
※2,3
真直度
0.5μm
※3
ヨーイング
0.5秒
※3
ピッチング
0.5秒
※3
石定盤外形寸法
1,000×1,000×200mm
テーブル全高
215mm（定盤上面より）
上面テーブル寸法
350×350mm
※1
最高速度は分解能やリニアスケールの応答速度、使用するコントローラの性能などによって決まります。
※2
高分解能リニアスケール（ハイデンハイン LIP401R、ソニー BS77等）によるクローズドループ制御での値です。
※3
精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。
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外観図（AX350）
