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膜厚ムラ解析装置 |
| 本装置は干渉色をCCDカラーカメラでとらえ、独自の膜厚ムラアルゴリズムでの画像解析により表面コーティングの膜厚および面としての膜厚ムラを瞬時に計測できる画期的な非接触式膜厚均一性計測装置です。 |
| ID |
A038-02 |
| 製品名 |
膜厚ムラ解析装置 |
| メーカー |
（株）アイ・システム |
| 特長 |
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膜全体に対する濃度・色ムラを2次元の画像として測定し、膜全体の厚みムラの数値化を行います。 |
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膜全体の膜厚および膜厚ムラを瞬時に、しかも非接触で計測数値化します。 |
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測定分解能は10〜1,000Å（オングストローム）を識別します。（校正を必要とする） |
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ITO膜・配向膜・パターン形成時の各種膜厚は、ウェハー等半導体業界の薄膜測定にも応用可能です。 |
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