クリーンルーム対応エアレギュレータ
　「RSシリーズ（超精密減圧弁）／RRシリーズ（超精密エアリレー）」

	藤倉ゴム工業（株）
	東京都江東区有明3-5-7　TOC有明イーストタワー10F　　TEL 03-3527-8573　FAX 03-3527-8390

クリーンルーム対応

超精密制御を可能にしたエアレギュレータ

F017-03

製品名

メーカー

藤倉ゴム工業（株）

特長

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。

●	クリーン仕様
	部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。

●	排気ポートを設備
	リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。


●	優れた特性
	リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。

●	マニホールド対応
	マニホールド配管が可能です(R□-□-M-KA、フッ素ゴム製専用パッキン付属）。

●	高精度
	感度0.1％F.S.、繰り返し再現性±0.1％F.S.という高精度の圧力制御が可能です。

●	長期圧力安定性
	一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど変動しません。

■ 仕様

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藤倉ゴム工業（株）