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真空紫外（VUV）光源ユニット |
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静岡県磐田市下神増314-5 TEL 0539-62-5245（営業直通） FAX 0539-62-2205 |
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「MgF2窓付き重水素ランプ」を内蔵した真空紫外光源ユニットです。高輝度重水素ランプを搭載し、空冷式と、真空フランジ取り付け部を採用したL10366と、真空フランジ付属のSUSフレキシブル管を採用したL10706があります。 |
| ID |
F029-08 |
| 製品名 |
真空紫外（VUV）光源ユニット |
| メーカー |
浜松ホトニクス（株） |
| 特長 |
真空紫外線による静電気除去
従来の静電気除去装置では不可能であった減圧下での静電気除去が可能！
特許：
日本／特許第2816037号、特許第2977098号、特許第3169993号、特許第2996316号、特許第3377221号
米国／特許第5596478、特許第5254229
ヨーロッパ／特許第0597103
高砂熱学工業株式会社の所有です。ご不明な点は弊社までご相談ください。
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| 主な用途 |
| ● |
電子線応用製品（SEM等）の静電気除去 |
| ● |
減圧下での半導体製造等の静電気除去 |
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S2D2真空紫外光源ユニットは、小型MgF2窓付き重水素ランプを内蔵した真空紫外光源ユニットです。真空フランジ付属のSUSフレキシブル管と専用の冷却機構により、照射対象物への近接照射や減圧下への設置及び点灯が可能となりました。 |
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新しい真空紫外光源ユニットです。「MgF2窓付き高輝度重水素ランプ」を内蔵し、輝度は約4倍高くなりました（当社従来品比）。空冷式と、真空フランジ取り付け部を採用したことにより、使い易さが格段に向上しました。 |
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■ 関連製品
 静電気除去装置 フォトイオナイザ
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