RF放電型エキシマランプ

	浜松ホトニクス（株）
	静岡県磐田市下神増314-5　　TEL 0539-62-5245（営業直通）　FAX 0539-62-2205

従来の誘導体バリア放電は、点灯周波数数10kHzで針状のマイクロプラズマ放電のため発光ムラがありましたが、高周波（RF）放電は、点灯周波数2MHzで雲状のグロー放電のため発光ムラがなく照度の均一性が高いのが特徴です。そのため、ちらつきが少なく安定した出力が得られます。
また、従来の円筒形バルブではランプ中心部直下しか近接照射できないため、多くの紫外線がムダになっていました。当社製エキシマランプは、照射面積が長さ488mm、幅38mmと平面長尺バルブのため、広い面積で近接照射が可能になりました。

F029-27

製品名

RF放電型エキシマランプ

メーカー

浜松ホトニクス（株）

特長

●	平面長尺バルブの採用により、大面積で均一な照射を実現


●	RF（高周波）放電の採用により、ちらつきの少ない安定した出力を実現


●	電源のオートチューニング機能により、高効率の点灯を実現

●	172nmの単一波長で、効率の良い処理が可能

●	瞬時点灯／消灯が可能

改　質

表面改質技術は幅広い産業分野で利用されており、そのなかでエキシマランプを用いた改質は原子・分子レベルの化学反応によるものであるため、従来の方法と比べ精密な改質といえます。また、基板への損傷がなく、粉塵の発生のないクリーンな改質が可能なため、より高度な改質が必要とされる分野において有効な技術と考えられています。
接着性の向上、材料への親水・疎水性の付与などの機能性向上が可能なため、現在では幅広い分野や材料への利用が進んでいます。
また、改質と同時に材料表面に残留する有機物のコンタミなどを活性酸素などにより酸化洗浄することも可能です。

応用例

　　■PET樹脂の表面改質

　　■接着の前処理（接着性向上）

洗　浄

エキシマランプから放出される波長172nmの真空紫外光は、酸素に対する吸収係数が大きいため高濃度の活性酸素を生成することができます。
また、光エネルギーが高い有機物の分子結合切断能力を有しているため、洗浄速度の向上、洗浄品質の向上、歩留まり向上などさまざまなプロセスにおけるメリットがあります。
特に、ウェット洗浄で除去しきれない汚れ、ウェット洗浄不可な材料、熱によるダメージを受けやすい材料などに対して有効な洗浄方法といえます。

応用例

　　■レーザ用Au蒸着ミラーの光洗浄

　　■アセトンシミ除去

■ 仕様

エキシマランプ　L11751
エキシマランプL11751

エキシマランプ用ランプハウス　E11752
エキシマランプ用ランプハウスE11752

※小型のものをご要望の場合はご相談ください。

エキシマランプ用電源　C11753
エキシマランプ用電源C11753

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