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マルチ・イメージ・テクロノジーTM による優れた検出精度 |
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複数の光源を使用して複数画像を同時に取得 |
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微細な形状にも優れた検出能力を発揮 |
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虚報を著しく低減 |
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顕微鏡の画像
ダストとファインショート |
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赤色光の画像
ダストとファインショートは同じに見える |
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青色光の画像
ダストとファインショートに明らかな違いが見られる
（ダストの方が高輝度である） |
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スマート・セットアップによる直観的な操作 |
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最適化 - すべてのセットアップパラメータを自動最適化（くり返し検査低減） |
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時間短縮 - ワンサイクル処理（反復なし） |
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直観性 - 真欠陥と疑欠陥を目視で分類 |
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優れた性能 |
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最小30μmのライン/スペース（FusionTM 20） |
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最小25μmのライン/スペース（FusionTM 22） |
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すべての解像度で高スループット |
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特許取得済みの真空テーブルを使用することで、 幅広い材質に対応 |
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欠陥エリアをすばやくかつ簡単にアクセスできるオンラインの欠陥確認 |
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ランニングコストの大幅な削減 |
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最大限の生産効率を実現しながら、スキャン1回あたりのコストを最小限に抑制 |
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必要なベリファイ作業を最小限に抑制 |
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消耗品、消費電力、およびフロアスペースを最小化 |
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