RLE レーザーエンコーダ(リニアスケール)

レニショー(株)

東京都新宿区四谷四丁目29-8  TEL 03-5366-5317 FAX 03-5366-5329


RLE レーザーエンコーダ(リニアスケール)   このシンプルなシステムは光ファイバ送出システムを使用して実現したもので、レーザー光線を計測軸に直接照射するため、複数の部品からなるビームベンダー、ビームスプリッターや調整式取り付け台を準備する必要がなくなりました。干渉計システムの構造をこのように変革したことにより、フットプリントの低減を図りながら、システムを数分間で取り付けることができるようになりました。各 RLE システムは、RLU レーザーユニットと RLD ディテクターヘッドという2つの主要コンポーネントで構成されます。これらのコンポーネントは、必要な構成に合わせて様々なものを用意しています。レニショーでは、シングルパスディテクターに組み込む反射鏡や、ダブルパス用のミラーとミラーマウントも提供しています。


ID I006-02
製品名 RLE レーザーエンコーダ(リニアスケール)
会社名

レニショー(株)



アプリケーション(機器組み込み実績)

アプリケーション(機器組み込み実績)   アプリケーション(機器組み込み実績)
 


  RLU レーザーユニット
RLUレーザーユニット
1軸、あるいは2軸構成の RLU レーザーユニットには、HeNe(ヘリウム/ネオン)レーザー光源、安定化電子回路、光ファイバ送出機構、および軸の位置決めフィードバック回路が組み込まれています。RLU レーザーユニットには、1時間で±50ppbの周波数安定性を備える RLU10 (全 RLE10 システムに使用)と、1時間で±2ppbの周波数安定性を備える RLU20 (全 RLE20 システムに使用)という2つの周波数安定性仕様があります。標準システムは、RLU レーザーユニットと3mの光ファイバケーブルで接続されます。
 
  出力方向0°の RLD10 ディテクターヘッド
出力方向 0°の RLD10 ディテクターヘッドシングルパス干渉計かダブルパス干渉計(それぞれ反射鏡と平面鏡のアプリケーション用)、レニショー独自のマルチチャネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。干渉計を内蔵しない出力方向 0°のディテクターヘッドも提供できます。この構成を使用すれば、キャリブレーション部門で販売している位置決め、角度、真直度の光学部品と合せて RLE システムを使用できます。

  出力方向90°の RLD10 ディテクターヘッド
出力方向90°のRLD10ディテクターヘッド シングルパス干渉計かダブルパス干渉計(それぞれ反射鏡と平面鏡のアプリケーション用)、レニショー独自のマルチチャネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。このディテクターヘッドは上下どちらの面でも取り付けが可能で、この場合には 90°か 270°のビーム出力方向が得られます。
 
  RLD10 DI(ディファレンシャル干渉計)ディテクターヘッド
RLD10 DI(ディファレンシャル干渉計)ディテクターヘッド ディファレンシャル差動計測用干渉計(カラムリファレンス)光学部品、レニショー独自のマルチチャネル干渉縞検出機構、さらに参照ビームと計測ビームに対してピッチとヨーの調整を個別に行うビームステアラが組み込まれています。
  RPI20 パラレルインターフェース
RPI20 パラレルインターフェースディファレンシャルのアナログ信号1Vpp Sin/Cosを受信し、4096倍の内挿分割を行い、位置決めデータを1m/sの速度で38.6ピコメートルの分解能と最大36ビットのパラレルフォーマットにより出力します。
  RCU10 リアルタイム環境補正システム
RCU10 リアルタイム環境補正システム 環境センサーを通じて機械の周囲環境をモニターし、リアルタイムで位置決めフィードバック信号の補正を行います。


システム仕様
位置決め(反射鏡)システム

位置決め(反射鏡)システム反射鏡 RLE システムは、RLU レーザーユニットと(通常)ターゲット光学部品として反射鏡を使用するように設定された RLD10ディテクタヘッドで構成されます。反射鏡ターゲット光学部品は、ディテクタヘッドと共にお届けします。レーザーユニットは操作環境に応じて選択しますが、RLU20 は、特に真空環境や空調管理された環境でのアプリケーションに適しています。RLU10 レーザーユニットは RLE10 システムに使用し、RLU20 レーザーユニットは RLE20 システムに使用します。ディテクタヘッドは、ビーム出力方向が 0°のものと 90°のものをご用意しています。


データ形式 デジタル - RS422 矩形波
アナログ - 1Vpp Sin / Cos
分解能 デジタル - 20nmまでユーザーが選択可能(反射鏡ターゲット光学部品使用時)
アナログ - 外付けインターポレイターによりサブナノメーターの分解能を実現 (RPI20パラレルインターフェースなど)
最大速度 2m/s(ターゲット光学部品として反射鏡を使用した場合)
レーザータイプ HeNe(ヘリウムネオン)、常温常圧時の波長 632.8nm、クラス II
レーザー周波数安定度 1時間で ±50ppb (RLU10)
1時間で ±2ppb (RLU20)
レーザー寿命 50,000時間以上
最大軸長 4m(ターゲット光学部品として反射鏡を使用した場合)



平面鏡システム

平面鏡システムX-Y(平面鏡)RLE システムは、2軸構成の RLU レーザーユニットと2つのディテクタヘッドで構成されます(ターゲット光学部品として平面鏡を使用するように設定)。すべての RLU レーザーユニットは、2本の光ファイバーケーブルにより2軸として指定することができます。レーザーユニットは操作環境に応じて選択しますが、RLU20 は、特に真空環境や空調管理された環境でのアプリケーションに適しています。RLU10 レーザーユニットは RLE10 システムに使用し、RLU20 レーザーユニットは RLE20 システムに使用します。平面鏡システムは、1軸位置決め計測に使用することができます。この場合は、反射鏡に比べて出力分解能が向上しますが、最大軸長が1mに制限されます。


データ形式  デジタル - RS422 矩形波
アナログ - 1Vpp Sin / Cos
分解能 デジタル - 10nmまでユーザーが選択可能(ターゲット光学部品として平面鏡を使用)
アナログ - 外付けインターポレイターによりナノメーター以下を実現 (RPI20パラレルインターフェースなど)
最大速度 1m/s(ターゲット光学部品として平面鏡を使用した場合)
レーザータイプ HeNe(ヘリウムネオン)、常温常圧時の波長 632.8nm、クラス II 
レーザー周波数安定度  1時間で ±50ppb (RLU10)
1時間で ±2ppb (RLU20)
レーザー寿命  50,000時間以上
最大軸長 1m(ターゲット光学部品として平面鏡を使用した場合)

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