※カタログはPDF版のみとなります。

RESOLUTETM UHV 超真空光学式アブソリュートエンコーダ(リニアスケール・ロータリースケール)

レニショー(株)

東京都新宿区四谷四丁目29-8  TEL 03-5366-5317 FAX 03-5366-5329


RESOLUTE UHV 超真空光学式アブソリュートエンコーダ   RESOLUTE TM UHV は、UHV(超真空)アプリケーションにアブソリュートエンコーダ技術を利用できるようにしたもので、スループットを向上して、損傷のリスクを低減しながら、リニアとロータリー RESOLUTE TM の信頼性を高めることができます。


ID I006-10
製品名 RESOLUTETM UHV 超真空光学式アブソリュートエンコーダ(リニアスケール・ロータリースケール)
会社名

レニショー(株)

特長 RESOLUTE UHV は、レニショーの革新的なアブソリュートエンコーダ技術を進化させて、10-10 TorrまでのUHV(超真空)条件で使用できるリードヘッドとして開発したものです。新シリーズの RESOLUTE UHV エンコーダは、クリーンなRGA(残量ガス分析)を実現しているため、高性能アプリケーション、半導体、科学アプリケーションに最適です。
 

スループットを増やす

RESOLUTE は、UHV環境向けに設計された他のすべてのアブソリュートエンコーダを上回るパフォーマンスを備えています。分解能32ビット(リニアエンコーダバージョンでは1nm)、最大 36000rpm(リニアエンコーダバージョンでは100rpm)を実現する RESOLUTE は、エンコーダ技術において画期的な仕様を実現しています。しかし、RESOLUTE が提供できるのは、単にスピードだけではなく、高度な検出機構により極めて低いサブディビジョナルエラー(SDE)と超低ノイズ(ジッタ)を実現します。

結果:
  • 10倍近くスムーズな速度リップル
  • 10倍近く優れた位置決めの安定性
  • 10倍近く優れた繰返し精度
  • モーターで発生する熱を低減

損傷のリスクを低減

RESOLUTE は真のアブソリュートエンコーダであるため、スイッチ投入直後から絶対位置決め計測を行うことができます。

  • 「ウェイク&シェイク」移動が不要
  • バッテリーバックアップが不要
  • 直ちに軸の完全制御を確立
  • 即時モーター整流
  • 高ペイロードを保持

これらの機能により、電源切断後にウェハー処理ロボットを安全に取り出すことなどができるようになります。

信頼性の向上

RESOLUTE の基本技術は、エンコーダのフィードバックに付きまとう一般的な障害のいくつかを排除しています。リードヘッドがホストコントローラから要求を受信する度に、RESOLUTE はスケールのイメージをキャプチャし、絶対位置の取得に使用します。このイメージには高レベルの冗長性が装備されており、リードヘッドは複雑な相互参照と誤差排除を行い、1nmの精度で位置を判定します。このような技術により、誤カウントやカウント喪失のような状況の可能性が排除されます。

さらに RESOLUTE は、位置決めをチェックするために組み込まれたアルゴリズムを常に実行することで、問題がコントローラに到達する前に、起こり得る問題に対してアラームを発するため、高い信頼性が得られます。さらに、スピード、信号強度、温度もモニタリングされています。

RESOLUTE は純粋なシリアル通信を使用して、チェック済みの位置情報をコントローラに送信します。RESOLUTE に使用されるすべてのプロトコルには、CRCチェックを適用しているため、送信中のデータ破損を検出できます。



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リニアおよびロータリー(角度位置決め用)エンコーダ形式
RESOLUTE UHV には、各種のリニアおよび角度位置決め用エンコーダアプリケーション向けの様々なスケールをご用意しています。


リニアエンコーダ付属品
名前 材質 タイプ 精度 最大長
RELA ZeroMetTM 超低 CTE のスケール ±1µm 1.13m
RSLA ステンレススチール スケール 1mまで±1.5µm
2mまで±2.25µm
3mまで±3µm
5mまで±4µm
5m
RTLA ステンレススチール FASTRACKTM 用のテープスケール ±5µm/m 10m
RTLA-S ステンレススチール 両面テープを備えたテープスケール ±5µm/m 2m


角度エンコーダ付属品
  • 低慣性で大きな内径を備えた RESA リング。サイズ 52mm 〜 550mm。
  • デュアルリードヘッド使用時に±1arc秒を超える精度(リングサイズ 100mm以上で)が保証された REXA 超高精度リング。サイズ 52mm 〜 550mm。
※カタログはPDF版のみとなります。

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