| ID |
C015-16 |
| 製品名 |
ナノファインステージ（Nano Cube、Micro Cube） |
| メーカー |
シグマサイバーテック（株） |
| 特長 |
ナノファインステージは従来の精密ステージを見直し、更に精度・送りピッチを微細にまとめたステージシリーズで、大別して Nano Cube と Micro Cube の2つに分類できます。文字通り Nano Cube は超微細計測・加工を目指した位置決め機構で、その移動には変異拡大機構と圧電素子(ピエゾ素子)を組み合わせ更に内部に変異センサーを内蔵させコントローラを介してフィードバック制御が可能です。
Micro Cube は従来のステージをより細詳な分解能を与えるため送りネジピッチを更に細かくし、移動中での分解感度を倍増させる工夫をしています。従来型ステージ等と比較して格段の滑らかで、微細な移動を体感してください。なお、ナノファインステージでは従来のタップ穴での上面への取り付け方法ではなく巾4mm、深さ5mmの溝をセンターに加工し、その溝を利用して固定物を止める方法を採用しています。この方法だと溝を滑らせ具合の良い位置に固定物を止められるためステージ面を有効に使えます。
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| 備考 |
■ Nano Cube を構成する「ナノサーボステージ」（ナノコントロール社製）
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圧電素子駆動による小型微動ステージです。 |
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ノーマルタイプ（Nタイプ）歪みゲージセンサタイプ（Sタイプ）静電容量センサタイプ（Cタイプ）の3タイプを標準化 |
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小型微動ステージから300μmの長ストロークをラインナップ・NS201:□40mmの小型タイプ・NS301:□60mmの標準タイプ・NS304:40×60の精密タイプ・NS441:長ストローク300μmタイプ（ 順次バリエーションを追加します) |
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センサによるフィードバック制御には、専用のコントローラ・ドライバが必要です。
（ ナノコントローラNCシリーズ)
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「ナノサーボステージ」については別途資料請求してください。 |
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