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薄質ワーク用多孔質均一吸着ステージ |
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栃木県足利市通3丁目2757 足利商工会議所 友愛会館3F TEL 028-422-2570 FAX 028-421-4826 |
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| 吸着OFF |
吸着ON |
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| 両面吸着タイプは上面はサンプル吸着、裏面はステージ上に吸着が可能で、タップ等の加工が必要ありません。 |
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| ID |
C015-30 |
| 製品名 |
薄質ワーク用多孔質均一吸着ステージ |
| メーカー |
シグマサイバーテック（株） |
| 概要 |
多孔質材（セラミック）の均一な穴構造を利用した、計測・加工用のサンプルステージです。特に、電子基板等の薄い材質の固定に大きな効力を発します。また多孔質材は消耗品のため、レーザ加工等での劣化が進んだ時には本体はそのままで、吸着部の交換のみで元通りになります。
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| 特長 |
| ● |
多孔質な面吸着（セラミックス）により薄いサンプルの吸着が可能。 |
| ● |
薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着、固定に最適。 |
| ● |
裏面吸着が可能な為、吸着ステージ本体を固定することが出来ます。 |
| ● |
表面形状固定機等のサンプル固定ステージとして最適なステージです。 |
| ● |
標準仕様外の寸法も対応可能です。 |
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| 50×50mm〜300×300mmタイプがラインナップしています。 |
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このタイプは顕微鏡用ステージに取付用タップ加工が必要です。 |
■ 仕様
| 品番 |
吸着部サイズ
（mm） |
外形寸法
（mm） |
質量
（kg） |
平面度
（μm） |
平行度
（μm） |
価格
（￥） |
| CPT- 60C |
Φ60（両面） |
*Φ80×14 |
0.34 |
10 |
30 |
140,000 |
| CPT-100C |
Φ100（両面） |
*Φ120×12.5 |
0.62 |
10 |
30 |
160,000 |
| CPT- 50S |
□50×50 |
80×80×20 |
0.34 |
15 |
30 |
160,000 |
| CPT-100S |
□100×100 |
130×130×20 |
0.95 |
15 |
30 |
180,000 |
| CPT-150S |
□150×150 |
180×180×20 |
1.77 |
15 |
30 |
200,000 |
| CPT-200S |
□200×200 |
230×230×20 |
2.88 |
25 |
40 |
220,000 |
| CPT-250S |
□250×250 |
280×280×25 |
5.30 |
25 |
40 |
250,000 |
| CPT-300S |
□300×300 |
330×330×25 |
7.35 |
25 |
40 |
280,000 |
*上記表中の外形寸法に突起部は含まれておりません。
*真空ポンプは別売品です。
■ 関連製品
| 手動ステージ |
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自動ステージ |
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レーザ電源（CW用大出力LD電源） |
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