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精密測長器 |
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栃木県足利市通3丁目2757 足利商工会議所 友愛会館3F TEL 028-422-2570 FAX 028-421-4826 |
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液晶の電気光学効果を利用
高分解能・高精度･高機能
取付の簡易性を実現
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半導体製造における超微細位置制御 |
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ディスク、表示素子の超微細計測位置制御 |
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バイオ診断チップ高速微細加工制御 |
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μファクトリ用nm加工制御 |
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医療におけるnm制御計測 |
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その他nm位置制御計測 |
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| ID |
C015-35 |
| 製品名 |
精密測長器 |
| メーカー |
シグマサイバーテック（株） |
| 原理 |
パルス駆動中の液晶素子を透過して得られる光センサの移動位置対出力特性が、ナノスケールの分解能を示唆する直線性を有し、さらに各々の液晶窓出力特性に再現性があり、液晶駆動電界により波形の高さ･幅を自由に調節できます。
以上の特性を利用して、交互に配列した液晶窓と、光センサの組合せで得られたアナログ信号をデジタル処理して高精度の測長ができます。
液晶窓の配置 |
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| 特長 |
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高分解能（±0.5nm)・高精度（±20nm再現性精度）の測長ができる。 |
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正・逆動作切替時に測長誤差が発生しない。 |
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チャタリングによる測長誤差が発生しない。 |
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取付に特別の技術を必要としない。取付用治具により簡単に取付ができる。 |
| ● |
周囲温度による影響が少ない。 |
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ノイズ等の外乱に強い。 |
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■ 仕様
| 分解能 |
±0.5nm |
| 再現性精度 |
±20nm |
| 動作速度 |
10mm/sec |
| 測定長 |
25mm |
| 出力形態 |
ver1 10nm/pulse RS422 level
ver2 A、B phase output RS422 level |
| 電源 |
DC12V±5％※ ※リップル電圧範囲240mV以内 |
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