フェムト秒レーザー発振器 |
波長 1030nm、515nm、342nm、256nm
出力 最大 15W@1030nm
繰り返し 1kHz-1MHz |
3軸 XYZポジショニングステージ |
門型グラナイトベース
最大100mm/s(X・Y)、50mm/s(Z)
精度 0.5μm(XY)、1μm(Z) |
パワー制御・偏光制御 |
電動アッテ―ネータ
電動偏光制御 (円偏光その他)
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マシンビジョン |
倍率 50倍
CMOS 1280x1024
分解能 0.7μm |
デブリ除去排気システム |
レーザー加工専用設計
高性能サブミクロンフィルター |
サンプルホルダー |
吸着型 多孔質石
XYチルト機能 |
パワーメータ |
SCAソフトによるリアルタイム計測 |
専用ソフトウェア |
オールインワン設計
全構成品を一画面で一括制御 |