フェムト秒レーザー微細加工機　サンインスツルメント

フェムト秒レーザー微細加工機

	サンインスツルメント（株）
	東京都品川区西五反田2-26-9　五輪プラザビル4階　　TEL 03-5436-9361　FAX 03-5436-9364



ラボ用加工装置　FEMTO LAB オールインワンの完全な装置	ベースユニットご所有のベンチやレーザーを活用	生産用加工装置ライン用など様々な様式に対応可能

C028-78

製品名

フェムト秒レーザー微細加工機

販売

サンインスツルメント（株）

メーカー

Workshop of Photonics（リトアニア）

特長

●	フェムト秒レーザーを用いた微細加工装置をラボ用レベルから生産レベルまで各種提案。
●	サンプル実証実験により最先端のフェムト秒レーザーによるソリューションを提案します。(有償）

　　
加工実験はこのような時にお勧めです。
　
*新素材加工方法・新工法の開発
　- 経験豊富なエンジニアによる加工とレポートが短期間で得られます。
*加工品質・精度の改善
　- 従来のナノ秒・ピコ秒レーザーを超えるフェムト秒レーザーの可能性。
*小ロットの難加工品の製作
　- 装置導入は検討しないが、高品質・高精度の部品が必要なときに。
　

■ FEMTO LABの主な構成品

フェムト秒レーザー発振器	波長　1030nm、515nm、342nm、256nm 出力　最大 15W@1030nm 繰り返し　1kHz-1MHz
3軸 XYZポジショニングステージ	門型グラナイトベース最大100mm/s（X・Y）、50mm/s（Z）精度 0.5μm（XY）、1μm（Z）
パワー制御・偏光制御	電動アッテ―ネータ電動偏光制御　（円偏光その他）
マシンビジョン	倍率　50倍 CMOS　1280x1024 分解能　0.7μm
デブリ除去排気システム	レーザー加工専用設計高性能サブミクロンフィルター
サンプルホルダー	吸着型　多孔質石 XYチルト機能
パワーメータ	SCAソフトによるリアルタイム計測
専用ソフトウェア	オールインワン設計全構成品を一画面で一括制御

■ フェムト秒レーザーによる加工例

		樹脂切断				サファイヤ切断

		強化ガラス切断				光ファイバ穴あけ

		合金スルーホール高アスペクト比				透明材料内部マーキング

		3Dマイクロレンズ				3D構造物