分析プローブステーション  「PS-6」

 

サンインスツルメント(株)

  東京都品川区西五反田2-26-9 五輪プラザビル4階  TEL 03-5436-9361 FAX 03-5436-9364


分析プローブステーション 「PS-6」
   

 
ID C028-79
製品名 分析プローブステーション  「PS-6」
販売 サンインスツルメント(株)
メーカー コリマー(アメリカ)
特長
同軸ドライブ チャックステージ
RF プローブ域 アップグレード対応可能
20X〜500Xの広い倍率範囲
簡単なワークハンドリング性
バックラッシュフリー動作
押板リニアクイック上下動
押板リニア微動上下動
プローブカード端 オーバードライブ調整
 


主な仕様
真空チャック 6" ステンレススチール製
チャック ステージ作動距離 6"x 6"
チャック シータ 0〜30度
チャック上下動 6mm アジャスタブル仕様
粗動 レバー操作
微動 手動回転ホイール駆動
上下動 25mm アジャスタブル仕様
ポジショニング 12マイクロポジショナー
顕微鏡ステージ作動距離 1"x 1"


動作環境
電源 110VAC 60Hz
真空 250mmHg 7litter/分
 

寸法
寸法 [mm] W780 x D660 x H700(マイクロスコープ含む)
質量 [kg] 約80(マイクロスコープ含む)


オプション
●ウェハチャック引き出しステージ ●デバイスホルダー
●傾斜機能付き顕微鏡 ●PCBホルダー
●RF prone/ケーブル ●サーマルシステム
●アクティブプローブ ●液晶キット
●低電流/静電容量プローブ ●防振テーブル
●高電圧プローブ ●遮蔽ボック
●レーザーカッター ●テスト作業台
●超音波カッター ●キャスター付き収納ケース
●観察用カメラ ●暗視野/ノマルスキー観察
●顕微鏡写真撮影 ●真空チャック方式
●プローブカードホルダー ●金めっきチャック

  

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