流量センサ  「FM-200シリーズ」

 

パナソニック デバイスSUNX(株) (旧社名:パナソニック電工SUNX(株))

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流量センサ 「FM-200シリーズ」   センサの性能アップが、生産ラインの品質向上・コスト管理・環境対策に貢献
EMC指令 ※1   ※1 EMC指令


ID C002-59
製品名 流量センサ  「FM-200シリーズ」
メーカー パナソニック デバイスSUNX(株) (旧社名:パナソニック電工SUNX(株))
製品概要 センサの性能向上により、流量センサのみならず、圧力センサシリーズとの組み合わせで、生産ラインの品質向上、コスト管理、環境対策に貢献いたします。

開発の背景
  近年、多様化する生産設備では一層の高精度化や高度な品質管理・コスト管理が進み、センサ自体にも新たな性能が求められています。「表示一体型デジタル流量センサ FM-200シリーズ」では従来機種に比べ、サブ画面付2色表示による視認性の向上や、検出の高精度化、流量の積算測定を可能にするなど、性能・機能面を強化いたしました。特に、流量の積算測定機能は、生産ライン全体のエア消費量を測定することにより、コスト管理のみならず省エネ・環境対策にもつながります。
   
主な特長
 
1. サブ画面付2色表示で見やすくわかりやすい操作性を実現
2. 新整流機構とMEMS技術の採用による、高精度±3%F.S.
3. 1台で吸・排気に対応
4. クラス最小サイズ
5. コスト・品質の管理に最適な積算出力モード搭載

特長
サブ画面付2色表示で見やすくわかりやすい操作性を実現
 
サブ画面に設定条件を表示できますので、操作がわかりやすくなりました。また、2色(赤色、緑色)に変化するデジタル表示により、センサの動作状態をひと目で確認できます。   サブ画面付2色表示
 

新整流機構とMEMS技術の採用による、高精度±3%F.S.
  新整流機構とMEMS(Micro Electro Mechanical System)技術による、Siセンサチップ(3×3.5mm)を搭載。熱容量が極めて小さく、高精度±3%F.S.かつ高速応答を実現。ヒータを挟んだ2つの温度センサにより温度分布を検知し双方向検出を可能にしています。

 Siセンサチップの原理
Siセンサチップの原理
 

1台で吸・排気に対応
  1台で双方向の流れを検出します。また順方向・逆方向のみの設定も可能で、様々なアプリケーションに対応します。
1台で双方向検出
 

クラス最小サイズ
  アルミボディの1,000L/min.タイプはクラス最小サイズを実現。より狭いスペースに設置が可能になります。
クラス最小サイズ
 
   
コスト・品質の管理に最適な積算出力モード搭載
  エアの消費量を管理できますので、品質の向上、コスト管理、省エネ環境対策に貢献します。

積算出力モード搭載


 

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