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レーザー式高精細欠陥検査装置 「LDCS-01」 |
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大阪市中央区常盤町2-2-5 大阪HUビル2F TEL 06-6966-0104 FAX 06-6966-0204 |
高精細・高コントラストに「見極める」
30mm幅において1μmの欠陥が検出可能な、高精細で高コントラストな欠陥検査装置です。
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1μmの蒸着ラインと異物
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| ID |
D033-02 |
| 製品名 |
レーザー式高精細欠陥検査装置 「LDCS-01」 |
| メーカー |
タイヨー電機（株） |
| 特長 |
| ● |
驚きの高精細で「見極める」 |
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30mm幅のエリアを一度に画像化し、最小1μmの欠陥を面積や長さから自動検出します。 |
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| ● |
今までにない鮮明な画像で「見極める」 |
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従来機に比べ10倍の解像度を実現する事により高コントラストで欠陥を検出します。 |
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| ● |
顕微鏡クラスの性能で「見極める」 |
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顕微鏡に比べて遥かに広い領域を画像化するため、短時間での全面自動検査に対応します。 |
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顕微鏡との視野比較
（青枠：本機 赤枠：顕微鏡） |
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| 用途 |
ガラス・水晶といった光学素材や金属の微細なキズ・クラック・気泡、及び薄膜などの欠陥を検出します。
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LDCS-01 概略仕様
■ システムブロック図
■ 検査仕様
| 項目 |
仕様 |
備考 |
| 検査装置寸法 |
W400×D400×H460mm |
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| 波長 |
405nm |
青紫色可視光 |
| スポット径 |
5μm |
焦点位置にて |
| 最小検出能 |
約1μm |
条件による |
解像度
（μm） |
1倍速 |
2倍速 |
4倍速 |
8倍速 |
16倍速 |
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| 1.52 |
3.05 |
6.1 |
12.2 |
24.4 |
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検査搬送速度
（mm/秒） |
1倍速 |
2倍速 |
4倍速 |
8倍速 |
16倍速 |
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| 1.52 |
3.05 |
12.2 |
24.4 |
48.8 |
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| 検査範囲 |
30.5×60mm |
W：レーザー走査幅 L：搬送方向長さ |
| 作動距離（WD） |
25mm |
レンズ先端から対象ワーク表面までの距離 |
| 光源照射角度 |
水平ワーク面に対して90°（垂直） |
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■ 環境条件
| 項目 |
仕様 |
備考 |
| 温度・湿度範囲 |
使用時：15〜35℃、35〜70％RH |
結露なきこと |
| 電源定格 |
1φAC100V、1kW以下 |
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