 |
レーザー式表面形状欠陥検査装置 「LDSS-01」 |
| |
|
| |
大阪市中央区常盤町2-2-5 大阪HUビル2F TEL 06-6966-0104 FAX 06-6966-0204 |
微細な表面形状を「見極める」
100mm四方の検査エリアを1億画素相当に分割し、各画素の高低差をカラーで階調表現できる表面形状検査装置です。
| ID |
D033-03 |
| 製品名 |
レーザー式表面形状欠陥検査装置 「LDSS-01」 |
| メーカー |
タイヨー電機（株） |
| 特長 |
| ● |
驚きの高さ分解能で「見極める」 |
| |
高さ方向判定値を元に1μm高さ分解能で表面形状の欠陥部を自動検出します。 |
| |
|
| ● |
今までにない検査幅で「見極める」 |
| |
従来の変位計などのように点ではなく、100mm幅の面で表面変位の欠陥検査が可能です。 |
| |
|
| ● |
表面形状の画像化で「見極める」 |
| |
対象物の表面形状を非接触で画像化することにより、視覚的に欠陥を解析する事ができます。 |
|
| 用途 |
電極・セパレータ等に使用される金属やセラミック素材について、凹凸・うねり・そり・付着異物等の表面形状を非接触で検査します。
|
LDSS-01 概略仕様
■ システムブロック図
■ 検査仕様
| 項目 |
仕様 |
備考 |
| 検査装置寸法 |
W680×D270×H400mm |
|
| 波長 |
405nm |
青紫色可視光 |
| スポット径 |
8μm |
焦点位置にて |
| 高さ分解能 |
1μm |
条件による |
| 測定高さ範囲 |
±0.5mm |
焦点位置中心として |
| 検査搬送速度 |
最高10mm/秒 |
|
| 検査範囲 |
100×100mm |
|
| 作動距離（WD） |
6.5mm |
レンズ先端から対象ワーク表面までの距離 |
| 光源照射角度 |
水平ワーク面に対して60° |
|
■ 環境条件
| 項目 |
仕様 |
備考 |
| 温度・湿度範囲 |
使用時：15〜35℃、35〜70％RH |
結露なきこと |
| 電源定格 |
1φAC100V、1kW以下 |
|
|
|
| |
（ 2,597 KB ） |
 |
 |
|
