| ID |
D006-2-01 |
| 製品名 |
半導体・液晶製造装置用真空排気ガスフィルター 「マルチコレクター」 |
| メーカー |
タイヨーテクノ（株） |
| 特長 |
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マルチコレクタ内で反応生成物を成長促進させます。 |
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捕捉面積の大きなプリーツ状カートリッジを採用しています。 |
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・長期間メンテナンスフリーを実現。 |
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カートリッジは、電着効果を持たせていますので、サブミクロンの粒子も逃しません。 |
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・マルチトコレクターの後段の配管のメンテナンスは、長期間不要。 |
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PCVD装置、エッチング装置、イオン注入装置のドライ真空ポンプ前段又は後段に設置し、真空排気系のトラブルを低減します。 |
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| ● |
冷却ユニットを設置する事により、生成物を強制析出させ、カラムライフを飛躍的に延ばします。 |
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| 主な用途 |
●PCVD装置の真空、排気ラインのトラブル防止
●エッチング装置の排気側ラインの配管閉塞防止
●液晶製造装置の排気側ラインの配管閉塞防止
●イオン注入装置、PCVD装置の真空ポンプの安定稼動
●排ガス除害装置の寿命の安定化
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| 価格 |
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