シールレス・ギヤーポンプ  「SLG・MPGシリーズ」

 

タイヨーテクノ(株)

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シールレス・ギヤーポンプ  「SLG・MPGシリーズ」   フッ素系不活性液、純水、エチレングリコール、フッ素系油、一般鉱物油の移送に最適です。

半導体製造装置の冷却システム(チラーユニット)等に使用するマグネットドライブのギヤポンプです。


ID D006-2-03
製品名 シールレス・ギヤーポンプ  「SLG・MPGシリーズ」
メーカー タイヨーテクノ(株)
特長
マグネットドライブ方式のため液漏れがありません。
   
カスケードポンプ等に比べて、高効率で高吸込み揚程です。
   
液の発熱量が少なく、低消費電力です。
   
高吸込み揚程です。
   
フッ素系不活性液、純水、エチレングリコール、一般鉱物油、フッ素系油等の様々な液体に対応する仕様があります。
  
主な用途
SLGシリーズはフッ素系不活性液、純水、エチレングリコールの液体移送用
半導体製造装置(エッチング装置、ステッパー装置)に使用する冷却システムの冷媒移送用ポンプ
MPGシリ−ズは、一般鉱物油、フッ素系油の液体移送用
 

備考

テスト機の貸出しできます。詳細はお問い合わせください。
 


主な仕様
 型 式 SLGシリーズ MPGシリーズ
 流 量 10L、15L、20L、30L 1L、2L
 対象液体 フッ素系不活性液、純水、エチレングリコール 一般鉱物油、フッ素系油
 粘 度 0.5〜100cst
 液 温 -30〜120℃
 使用圧力 0.4MPa以下 0.5MPa以下

 

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