| ● |
洗浄槽のクリーン化を実現 |
| |
層流式＋液面流式ろ過を採用し、洗浄槽の迅速なクリーン化を実現、パーティクルの再付着を防止、洗浄精度を大幅に向上、精密洗浄に対する要求に対応します |
| |
|
| ● |
洗浄液の蒸発ロスを大幅に低減 |
| |
ベーパー(蒸気)のコントロールを行う事で、洗浄液の蒸発ロスを抑え、ランニングコストを低減します |
| |
|
| ● |
シールレスポンプを採用 |
| |
シールレスタイプのポンプを採用し、液漏れがありません
カスケードタイプに比べ高効率で、安定したろ過流量を保ちます |
| |
|
| ● |
遊離水を100％除去 |
| |
水分離機構として、水分離槽を冷却し、水分を凝集
撥水フィルタにより遊離水を100％除去します |
| |
|
| ● |
溶解水分、フッ素イオンを低減 |
| |
フッ素イオン及び溶解水分については、当社製特殊吸着フィルタ(特許公開中)にて吸着除去します |
| |
|
| ● |
タッチパネルを採用 |
| |
タッチパネルによる簡単操作
タッチパネル上での洗浄パターン登録が可能です |
| |
|
| ● |
超音波周波数の選択が可能 |
| |
40，80，120，170kHzの中からワークに合わせた3周波の選択が可能です |
| |
|
| ● |
省スペース化を実現 |
| |
省スペースで充実した装備が可能です
インライン化も対応致します |
| |
|
| ● |
フッ素系溶剤再生装置 |
| |
オプションのフッ素系溶剤再生装置との組合せで、液の再利用が可能です |
