超高温2200℃までの焼成実験が可能。
簡単操作！試料設置後の操作は、ボタン操作・温調計設定のみ。作業者の習熟度を問わずどなたでも短時間のトレーニングで簡単に操作することができます

セラミックトップヒーターは、トッププレートにAlN窒化アルミ採用した高温・均熱性に優れた熱放射効率の良い薄膜実験用真空ホットプレートです。温度条件、使用環境に応じて使用するヒーター素線の選択が可能

基板上下昇降機構、基板回転機構、RF/DCバイアス印加の可能な高機能基板加熱機構。PLCモーター制御＋温度制御ユニットもご用意致します