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ルーツ式真空ポンプ |
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埼玉県桶川市赤堀2-15-8 TEL 048-728-4100 FAX 048-729-2400 |
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耐食材質(ステンレス、ハステロイ他)で、
腐食性ガスの吸入に対応! |
| ID |
H007-01 |
| 製品名 |
ルーツ式真空ポンプ |
| メーカー |
(株)四葉機械製作所 |
| 概要 |
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された直接冷却方式です。ルーツ式真空ポンプは2本のローター同士、ローターとケーシングが僅かなクリアランスを保ち、非接触でローターが高速回転します。また、各段の容積は吸入から吐出へ向かうにつれ、小さくすることでガスを圧縮します。それにより発生する熱を除去しない限り、各部品が膨張、クリアランスが減少し、ついには接触することとなります。 当社開発の直接冷却方式は回転するローター内部とケーシング・ジャケットを直接、冷却液で圧縮熱を除去するので、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと共に、数々の優れた特徴を備えています。
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| 特長 |
| ● |
ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能です。その他の特殊材質についても対応致します。 |
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| ● |
擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 |
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| ● |
真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行えます。 |
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| ● |
高温ガス130℃を直接吸引することができます。(標準材・FC) |
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| ● |
吸引と同時に圧送ができます。(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能) |
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| ● |
大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が出来ます。 |
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■ ルーツ式真空ポンプ ラインナップ
| VP4-651 |
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| 型 式 |
VP4-651 |
| 材 質 |
FC 250 |
真空度 |
6.67kPa (50Torr) |
| 吸引ガス |
有機ベーパー |
動 力 |
11kw |
| 排気速度 |
2m3/min |
用 途 |
真空蒸留 |
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| VMP14-121001(SUS) |
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| 型 式 |
VMP14-121001(SUS) |
| 材 質 |
SCS13(SUS304) |
真空度 |
1.33kPa (10Torr) |
| 吸引ガス |
有機ベーパー |
動 力 |
7.5/22kw |
| 排気速度 |
11.7m3/min |
用 途 |
真空蒸留 |
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| VP3-2501 |
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| 型 式 |
VP3-2501 |
| 材 質 |
FC 250 |
真空度 |
15kPa (113Torr) |
| 吸引ガス |
メタンガス |
動 力 |
132kw |
| 排気速度 |
55m3/min |
用 途 |
ガス回収 |
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| VPM13-101001(特殊) |
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| 型 式 |
VPM13-101001(特殊) |
| 材 質 |
FC 250 |
真空度 |
0.133kPa (1Torr) |
| 吸引ガス |
130℃ メタノール他 |
動 力 |
7.5/30kw |
| 排気速度 |
14m3/min |
用 途 |
真空蒸留 |
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| VM4-801 |
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| 型 式 |
VM4-801 |
| 材 質 |
FC250+
クリーエス処理 |
真空度 |
6.67kPa (50Torr) |
| 吸引ガス |
溶剤ガス |
動 力 |
15kw |
| 排気速度 |
5.55m3/min |
用 途 |
環境対策 |
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| VMP13-30B2501 |
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| 型 式 |
VMP13-30B2501 |
| 材 質 |
FC 250 |
真空度 |
4kPa (30Torr) |
| 吸引ガス |
AIR |
動 力 |
45/90kw |
| 排気速度 |
112m3/min |
用 途 |
試験装置 |
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| VP3-1501(空冷式) |
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| 型 式 |
VP3-1501(空冷式) |
| 材 質 |
FC 250 |
真空度 |
4kPa (30Torr) |
| 吸引ガス |
有機ベーパー |
動 力 |
55kw |
| 排気速度 |
30m3/min |
用 途 |
VRU |
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| VP3-1501(直結式) |
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| 型 式 |
VP3-1501(直結式) |
| 材 質 |
FC 250 |
真空度 |
6.67kPa (50Torr) |
| 吸引ガス |
CO |
動 力 |
65kw |
| 排気速度 |
18.9m3/min |
用 途 |
PSA |
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