FOUP Load Port (フープ ロード ポート) 「TAS450 Type A2」 カタログ TDK FAソリューションズ BG
カタログ検索
>
TDK FAソリューションズ BG
>
FOUP Load Port (フープ ロード ポート) 「TAS450 Type A2」 カタログ
FOUP Load Port (フープ ロード ポート) 「TAS450 Type A2」 カタログ
TDK FAソリューションズ BG
ロードポートは新たなステージへ。
TAS450は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP(Front Opening Unified Pod)を自動的に開閉するための標準ロードポートです。
半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、最高性能を有しています。
( 360 KB)