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カタログ検索>TDK FAソリューションズ BG>FOUP Load Port (フープ ロード ポート) 「TAS450 Type A2」 カタログ
FOUP Load Port (フープ ロード ポート) 「TAS450 Type A2」 カタログPDF
FOUP Load Port (フープ ロード ポート) 「TAS450 Type A2」 カタログ  
ロードポートは新たなステージへ。

TAS450は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP(Front Opening Unified Pod)を自動的に開閉するための標準ロードポートです。
半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、最高性能を有しています。
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