FOUP Load Port (フープ ロード ポート) 「TAS300 Type J1」 カタログ TDK FAソリューションズ BG
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FOUP Load Port (フープ ロード ポート) 「TAS300 Type J1」 カタログ
FOUP Load Port (フープ ロード ポート) 「TAS300 Type J1」 カタログ
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クリーンテクノロジーの最高峰。
TAS300は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP(Front Opening Unified Pod)を自動的に開閉するための標準ロードポートです。
半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び繰り返し動作の耐久性について、最高性能を有しています。
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