純水加熱器 SP型

 

日本ヒーター(株)

  東京都大田区京浜島2-13-15  TEL 03-3790-3111 FAX 03-3790-1711


純水加熱器 SP型   半導体や液晶等の洗浄に使用する純水を加熱

受注生産品


ID E006-15
製品名 純水加熱器 SP型
メーカー 日本ヒーター(株)
特長
ヒーターエレメントおよび接液部のステンレス表面処理として、電解研磨を施し純水への不純物溶出を抑えています。
   
石英ヒーター・石英槽を使用した加熱装置に比べ、堅牢でかつ大幅なコストダウンを実現します。
   
4ヶ所のキャスター(アジャストボルト付き)により、設置およびメンテナスや定期点検等での移動が容易です。

主な用途 純水を70〜90℃まで加熱して洗浄効果を高める、高性能純水加熱器です。

フロン等の溶剤に替わって純水が使用される、半導体や液晶製造の洗浄工程などに用いられます。
全面パネル式でクリーンルーム対応。洗浄装置に連結し、遠隔操作することもできます。
 
目的 水、および洗浄液等で記載の材質で腐食されない液体加熱

※水以外の場合は別途お問い合わせ下さい。
 


仕様
 適用  簡易ボイラー
 電源  3相200V
 形状  縦形 加熱器と温度制御盤のユニット品
 圧力  使用圧力:0.1MPa・G以下
 材質
 適 用 材 質  備 考
 ヒーター SUS316L  O.D.12 接液部電解研磨
 シェル SUS316L  接液部電解研磨
 IN-OUT SUS316L  JIS5K板フランジまたは管継手
 パネル・フレーム SPCC・SS  焼付塗装 マンセルNo. 7.5Y 9/1

 

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