電子産業用スプレーノズル

	スプレーイングシステムスジャパン
	東京都品川区東五反田5-10-25　齊征池田山ビル　　TEL 03-3445-7809　FAX 03-3442-7494

半導体、プリント基板、液晶パネルなど電機・電子産業に最適のノズルをラインアップ。

■	洗浄、エッチング用樹脂製スプレーノズル
■	精密洗浄用二流体ノズル、高圧ノズル
■	洗浄、エアーブロー用液膜生成スリットノズルヘッダー
■	静電気防止用エアー噴霧式加湿器

C008-03

製品名

電子産業用スプレーノズル

メーカー

スプレーイングシステムスジャパン

特長

●	PVDFセラミックノズル、UPEノズルはプリント基板、液晶パネルの洗浄に適した樹脂製スプレーノズル。耐磨耗性に優れ、研磨剤のスプレーに最適です。

●	PPSフルコーンノズルは、噴霧パターンがエッチングに最適の山形分布。

●	二流体ノズル、高圧ノズルは、細やかな粒子を高インパクトでスプレー。抜群の洗浄効果を発揮します。

●	スリットノズルヘッダーは、水膜洗浄、液膜コーティング、エアーナイフに好適の液膜、エアー膜を生成します。

●	加湿器ミニフォッガーⅢは、半導体製造工場などの静電気防止、湿度管理に豊富な実績があります。

用途

[ スプレーノズル ]
プリント基板、液晶パネル、半導体の洗浄、現像、エッチング、研磨剤洗浄、精密洗浄、バリ取り洗浄など

[ スリットノズルヘッダー ]
現像、エッチング、液中洗浄、薬液コート、槽内攪拌、エアーナイフなど

[ 加湿器 ]
電機・電子工場内の空調、湿度管理、静電気防止など

■ ラインナップ
　

　PVDFセラミックスノズル　（洗浄用）

長期間の使用に耐えるよう優れた強度を持つPVDFボディーに高純度セラミックスのオリフィスをインサート。スプレー角度は65°と90°。
流量範囲（圧力範囲） : 0.8～5.5L/min（0.05～1.0MPa）。

　UPEノズル　（洗浄用）

材質は耐摩耗性に優れたUPE（高分子ポリエチレン）。研摩材のスプレーに最適。
切削タイプはスプレー角度60°、オリフィス部は反射ミストなど研摩材の影響を受けにくい設計。

　PPSフルコーンノズル　（エッチング用）

流量はエッチングに最適な山形分布。ベーンはメンテナンスを効率よく行えるリムーバブル設計。工具なしでボディーから脱着。
流量範囲（圧力範囲）： 2.0～10.0L/min（0.05～0.6MPa）。

　二流体ノズル　（精密洗浄、コーティング用）

バリエーションに富んだスプレーセットアップから、用途、目的に適した組み合せを選択可能、小型・軽量ボディのコンパクトタイプもあります。

　液膜生成スリットノズルヘッダー　（洗浄、エアブロー用）

独自のチャンバー構造により、均一な流量・インパクト分布を有する液膜、エアー膜を生成。
スリット長50～3900mm、スリット幅0.05～1.6mm
材質はステンレス、PVC、アルミ、チタン等、お客様のご仕様に合わせて製作いたします。

　加湿器ミニフォッガーⅢ　（静電気防止用）

少ないエア量で超微細噴霧を実現。湿度調節、静電気防止、塵埃付着防止に最適。
検査工程に最適。

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