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分析プローブステーション 「PS-6」 |
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東京都品川区西五反田2-26-9 五輪プラザビル4階 TEL 03-5436-9361 FAX 03-5436-9364 |
| ID |
C028-79 |
| 製品名 |
分析プローブステーション 「PS-6」 |
| 販売 |
サンインスツルメント（株） |
| メーカー |
コリマー（アメリカ） |
| 特長 |
| ● |
同軸ドライブ チャックステージ |
| ● |
RF プローブ域 アップグレード対応可能 |
| ● |
20X〜500Xの広い倍率範囲 |
| ● |
簡単なワークハンドリング性 |
| ● |
バックラッシュフリー動作 |
| ● |
押板リニアクイック上下動 |
| ● |
押板リニア微動上下動 |
| ● |
プローブカード端 オーバードライブ調整 |
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■ 主な仕様
| 真空チャック |
6" ステンレススチール製 |
| チャック ステージ作動距離 |
6"x 6" |
| チャック シータ |
0〜30度 |
| チャック上下動 |
6mm アジャスタブル仕様 |
| 粗動 |
レバー操作 |
| 微動 |
手動回転ホイール駆動 |
| 上下動 |
25mm アジャスタブル仕様 |
| ポジショニング |
12マイクロポジショナー |
| 顕微鏡ステージ作動距離 |
1"x 1" |
■ 動作環境
| 電源 |
110VAC 60Hz |
| 真空 |
250mmHg 7litter/分 |
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■ 寸法
| 寸法 [mm] |
W780 x D660 x H700(マイクロスコープ含む） |
| 質量 [kg] |
約80（マイクロスコープ含む） |
■ オプション
| ●ウェハチャック引き出しステージ |
●デバイスホルダー |
| ●傾斜機能付き顕微鏡 |
●PCBホルダー |
| ●RF prone/ケーブル |
●サーマルシステム |
| ●アクティブプローブ |
●液晶キット |
| ●低電流/静電容量プローブ |
●防振テーブル |
| ●高電圧プローブ |
●遮蔽ボック |
| ●レーザーカッター |
●テスト作業台 |
| ●超音波カッター |
●キャスター付き収納ケース |
| ●観察用カメラ |
●暗視野/ノマルスキー観察 |
| ●顕微鏡写真撮影 |
●真空チャック方式 |
| ●プローブカードホルダー |
●金めっきチャック |
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