FOUP Load Port (フープ ロード ポート)  「TAS300 Type H1」

 

TDK(株) FAソリューションズ BG

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FOUP Load Port(フープ ロード ポート) 「TAS300 Type H1」   次世代22nm対応!
クリーンテクノロジー。


精密性・信頼性を極めた、世界最高レベルのスーパークリーン性能。


ID D010-08
製品名 FOUP Load Port (フープ ロード ポート)  「TAS300 Type H1」
メーカー TDK(株) FAソリューションズ BG
特長
業界最高レベルのクリーン度を実現
  デザインルールの微細化に伴い、微小パーティクル発生を極限まで抑制。
■徹底した気流解析による最適な気流制御
■装置クリーン化設計
   
高信頼・高耐久
  TDKのファクトリーオートメーション技術をもとに、優れた信頼・安定・耐久性を実現
■MCBF 50万サイクルを達成*1
*1:MCBFはMean Cycle Between Failureの略。
ある機械が使用開始、あるいは故障から回復した後次に故障するまでの稼動回数。
   
高い互換性−各社FOUPに対応
  FOUPごとの微差(公差)に対応する独自機構が、FOUPとロードポートの衝突を防ぎ、確実なラッチキー挿入で、高い互換性を実現
■各種FOUPとの確実な着脱、開閉を可能にするエアクッション方式
■世界シェアNo.1の導入実績*2
*2:2001年発売以来、3万台以上。(2009年1月現在)
 


 

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