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FOUP Load Port （フープ ロード ポート） 「TAS300 Type H1」 |
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営業推進課 千葉県市川市東大和田2-15-7 TEL 047-378-9226（直通） FAX 047-378-9242 |
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次世代22nm対応！
クリーンテクノロジー。
精密性・信頼性を極めた、世界最高レベルのスーパークリーン性能。
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| ID |
D010-08 |
| 製品名 |
FOUP Load Port （フープ ロード ポート） 「TAS300 Type H1」 |
| メーカー |
TDK（株） FAソリューションズ BG |
| 特長 |
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業界最高レベルのクリーン度を実現 |
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デザインルールの微細化に伴い、微小パーティクル発生を極限まで抑制。
■徹底した気流解析による最適な気流制御
■装置クリーン化設計 |
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| ● |
高信頼・高耐久 |
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TDKのファクトリーオートメーション技術をもとに、優れた信頼・安定・耐久性を実現
■MCBF 50万サイクルを達成*1
*1：MCBFはMean Cycle Between Failureの略。
ある機械が使用開始、あるいは故障から回復した後次に故障するまでの稼動回数。 |
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高い互換性−各社FOUPに対応 |
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FOUPごとの微差（公差）に対応する独自機構が、FOUPとロードポートの衝突を防ぎ、確実なラッチキー挿入で、高い互換性を実現
■各種FOUPとの確実な着脱、開閉を可能にするエアクッション方式
■世界シェアNo.1の導入実績*2
*2：2001年発売以来、3万台以上。（2009年1月現在） |
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