FOUP Load Port iƒt[ƒv ƒ[ƒh ƒ|[ƒgj@@uTAS450 Type A2v

 

TDKiŠ”j@FAƒ\ƒŠƒ…[ƒVƒ‡ƒ“ƒY BG

  ‰c‹Æ„i‰Û@@ç—tŒ§ŽsìŽs“Œ‘å˜a“c2-15-7@@TEL 047-378-9226i’¼’ʁj@FAX 047-378-9242


FOUP Load Portiƒt[ƒv ƒ[ƒh ƒ|[ƒgj@uTAS450 Type A2v   ƒ[ƒhƒ|[ƒg‚͐V‚½‚ȃXƒe[ƒW‚ցB


TAS450‚́AŠeŽí”¼“±‘̐»‘¢‘•’u‚ÉŽæ‚è•t‚¯‚ç‚êA”¼“±‘̐»‘¢H’ö‚É‚ÄŽg—p‚³‚ê‚éFOUPiFront Opening Unified Podj‚ðŽ©“®“I‚ÉŠJ•Â‚·‚邽‚ß‚Ì•W€ƒ[ƒhƒ|[ƒg‚Å‚·B
”¼“±‘̐»‘¢‘•’u‚É—v‹‚³‚ê‚é’á”­o«A‚ƒXƒ‹[ƒvƒbƒg‚ɂ‚¢‚āAÅ‚«”\‚ð—L‚µ‚Ä‚¢‚Ü‚·B


ID D010-09
»•i–¼ FOUP Load Port iƒt[ƒv ƒ[ƒh ƒ|[ƒgj@@uTAS450 Type A2v
ƒ[ƒJ[ TDKiŠ”j@FAƒ\ƒŠƒ…[ƒVƒ‡ƒ“ƒY BG
“Á’·
œ
SEMI Standard   E154   MECHANICAL INTERFACE SPECIFICATION
FOR 450mm LOAD PORT
@  
œ ‰Â“®•”‚̓}ƒbƒsƒ“ƒOƒ†ƒjƒbƒg‚ðŠÜ‚ß‘S‚ăEƒGƒn–ʉº•û‚É‚ ‚èAƒp[ƒeƒBƒNƒ‹«”\‚ðŒüã‚³‚¹‚½\‘¢B
   
œ ƒ}ƒbƒsƒ“ƒOƒ†ƒjƒbƒgi“§‰ßŒ^ƒZƒ“ƒTj‚ðƒIƒvƒVƒ‡ƒ“‚É‚ÄŽæ‚è•t‚¯‰Â”\B
   
œ FOUPƒhƒbƒNŽž‚̏áŠQ•¨ŒŸo‹@”\‚𓋍ځB
   
œ FOUPÝ‰×Žž‚ÌFOUP—L–³A‹y‚ѐ³íÚ’uŒŸo‹@”\‚𓋍ځB
@


@

  i 360 KB j PDFƒ_ƒEƒ“ƒ[ƒh ‚¨–⍇‚¹EŽ‘—¿¿‹