FOUP Load Port （フープ ロード ポート） 「TAS450 Type A2」 TDK（株） FAソリューションズ BG
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FOUP Load Port （フープ ロード ポート） 「TAS450 Type A2」
TDK（株） FAソリューションズ BG
営業推進課 千葉県市川市東大和田2-15-7 TEL 047-378-9226（直通） FAX 047-378-9242
ロードポートは新たなステージへ。
TAS450は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP（Front Opening Unified Pod）を自動的に開閉するための標準ロードポートです。
半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、最高性能を有しています。
ID
D010-09
製品名
FOUP Load Port （フープ ロード ポート） 「TAS450 Type A2」
メーカー
TDK（株） FAソリューションズ BG
特長
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SEMI Standard
E154
MECHANICAL INTERFACE SPECIFICATION
FOR 450mm LOAD PORT
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可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、パーティクル性能を向上させた構造。
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マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能。
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FOUPドック時の障害物検出機能を搭載。
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FOUP在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載。
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