FOUP Load Port (フープ ロード ポート)  「TAS450 Type A2」

 

TDK(株) FAソリューションズ BG

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FOUP Load Port(フープ ロード ポート) 「TAS450 Type A2」   ロードポートは新たなステージへ。


TAS450は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP(Front Opening Unified Pod)を自動的に開閉するための標準ロードポートです。
半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、最高性能を有しています。


ID D010-09
製品名 FOUP Load Port (フープ ロード ポート)  「TAS450 Type A2」
メーカー TDK(株) FAソリューションズ BG
特長
SEMI Standard   E154   MECHANICAL INTERFACE SPECIFICATION
FOR 450mm LOAD PORT
   
可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、パーティクル性能を向上させた構造。
   
マッピングユニット(透過型センサ)をオプションにて取り付け可能。
   
FOUPドック時の障害物検出機能を搭載。
   
FOUP在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載。
 


 

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