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SEMI Standard
| E15.1-0305 |
E57-0600 |
E62-0306 |
E63-1104 |
E64-1105 |
| E110-1102 |
S2-0706 |
S8-0308 |
S14-0704 |
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可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、徹底した気流解析により世界最高レベルのパーティクルフリーを実現。 |
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ドッキングプレートとFIMSドアとのエアクッション方式により、個別調整をする事なく多種多様なFOUP（SEMI E47.1、及びE62 に準拠する300mmFOUP）の確実開閉が可能。 |
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マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能。 |
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長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮する優れた耐久性。 |
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FOUPドック時の障害物検出機能を搭載。 |
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FOUP在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載。 |
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ロードポートの脱着時間短縮のために、BOLTS面にロードポート位置決め機構を搭載 |
