FOUP Load Port (フープ ロード ポート)  「TAS300 Type J1」

 

TDK(株) FAソリューションズ BG

  営業推進課  千葉県市川市東大和田2-15-7  TEL 047-378-9226(直通) FAX 047-378-9242


FOUP Load Port(フープ ロード ポート) 「TAS300 Type J1」   クリーンテクノロジーの最高峰。


TAS300は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP(Front Opening Unified Pod)を自動的に開閉するための標準ロードポートです。
半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び繰り返し動作の耐久性について、最高性能を有しています。


ID D010-10
製品名 FOUP Load Port (フープ ロード ポート)  「TAS300 Type J1」
メーカー TDK(株) FAソリューションズ BG
特長
SEMI Standard
E15.1-0305 E57-0600 E62-0306 E63-1104 E64-1105
E110-1102 S2-0706 S8-0308 S14-0704  
   
可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、徹底した気流解析により世界最高レベルのパーティクルフリーを実現。
   
ドッキングプレートとFIMSドアとのエアクッション方式により、個別調整をする事なく多種多様なFOUP(SEMI E47.1、及びE62 に準拠する300mmFOUP)の確実開閉が可能。
   
マッピングユニット(透過型センサ)をオプションにて取り付け可能。
   
長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮する優れた耐久性。
   
FOUPドック時の障害物検出機能を搭載。
   
FOUP在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載。
   
ロードポートの脱着時間短縮のために、BOLTS面にロードポート位置決め機構を搭載
 


 

  ( 387 KB ) PDFダウンロード お問合せ・資料請求